在透視電鏡的使用中，常會出現以下的故障：

   例1：打開真空系統后，真空系統不動作，海寧帶式過濾器左面板上的指示燈不亮。

　　故障分析：空氣壓縮機的壓力沒有達到4.0kg/cm2，氣動閥門壓力不夠，打不開。故障排除：排除空氣壓縮機泵機內的氣體，空氣壓縮機自動啟動開始充壓，當壓力達到4.0kg/cm2以后，真空系統工作。

　　例2：開機后，光斑無法擴大。

　　故障分析：以前出現過類似問題，是保險管燒損的緣故。分析此次可能也是保險管斷了。打開電控制柜的前面板查找，果然是F207燒損，并且F208也有些燒糊。故障排除：更換同型號的保險管。

　　例3：底片夾在傳輸過程中被卡住。

　　故障分析：原來出現過底片夾被卡住現象，是因為底片尺寸不合適，過長或過短，傳輸過程中底片脫離了底片夾，導致底片夾被卡住。將照相室放氣后，打開照相室，未發現底片脫離底片夾。繼續查找，發現底片接受盒擋板螺絲松動，當傳輸底片時，外力作用使接受盒位移翹起，底片夾傳輸受阻。故障排除：擰緊螺絲，試機，傳送正常。

　　例4：樣品室抽真空時間多于正常時間。

   故障分析：打開照相室，對照相室門密封膠墊涂真空脂，試機，現象依舊，可排除密封問題。樣品室是依靠RP-3機械泵抽真空，檢查RP-3機械泵內的機油，發現變色，有污染和氧化現象。故障排除：清洗過濾器，更換RP-3機械泵內的機油。試機，恢復正常。